面提高海德堡仪器制作功率全携手康耐视完成半导体

半导体制作  。海德的堡仪半导中心，在于精准与功率的器携两层博弈。对许多制作商而言，手康特别在面临非传统资料及杂乱制作条件时 ，耐视怎么保持高产值成为一道难以逾越的完成技能门槛 。

海德堡仪器的体制一家。半导体。作功制作客户就曾深陷此类窘境——因资料外表翘曲和传统光刻办法的率全限制
，其产值长时间阻滞于66%，面提很多原资料作废 ，海德赢利空间继续承压
。堡仪半导为了改变这一局势
，器携海德堡仪器携手康耐视，手康经过整合VisionPro视觉软件，耐视体系性重构了制作流程。

客户
。

海德堡仪器
。

海德堡仪器总部坐落德国 ，专心于顶级的微米和纳米加工体系 ，为纳米和微细加工以及外表剖析等运用供给先进的制作处理方案和互补的产品及服务。

应战。

低收益率与高废料本钱。

紧缩制作赢利空间 。

根据掩模的光刻法是半导体出产的常用办法
，特别适用于硅等平整的晶圆资料。而海德堡仪器的客户方案运用非硅资料进行出产制作，非硅资料的外表翘曲和高度改变易导致基底上的区域在根据掩模的体系上失焦，原有的根据掩模的光刻体系难以完成理想的图画对位精度
，导致：

·每片晶圆中仅有约66%的芯片契合封装要求；

·制程废料率高，资料糟蹋严峻；

·全体设备功率（OEE）不达预期 ，拉低产线回报率。

处理方案
。

集成VisionPro的无掩膜光刻体系。

海德堡仪器为其客户布置的MLA 300无掩膜光刻设备，经过集成康耐视VisionPro软件 ，完成了对晶圆上微米级对准符号的。高精度。辨认与图画校准
。

在VisionPro的形式匹配东西支持下，该体系可以安稳辨认对准符号方位，即便面临高度改变  、翘曲或热应力导致的畸变外表 ，也能动态调整光刻图画 ，完成层层精准叠加。一起 ，体系中的“拟合质量”。算法。根据康耐视辨认成果主动判别基底对位状况，预警潜在缺点
，从源头操控不良率。

更重要的是 ，VisionPro供给的可拓宽图画东西包 ，使海德堡仪器可以快速呼应客户不同资料
、不同图画的对准需求，无需从头开发软件，大幅缩短项目交给周期。

作用。

产值从66%跃升至95% 。

制作功率全面进步
。

集成VisionPro的无掩膜光刻体系在投产后，展现了在处理杂乱基底资料和多层电路对位时更高的稳健性与精度。在保证要害对位精度的前提下  ，完成了如下明显进步
：

·产值进步至95%
，作废晶圆大幅削减；

·废料本钱明显下降，单片晶圆赢利进步；

·设备全体功率（OEE）优化，单位产出的经济价值进步  。

与康耐视的协作，不只处理了海德堡仪器客户当时的制作瓶颈 ，也为未来更杂乱、更多样化的半导体出产需求打下根底 。这一事例，为整个半导体职业在面临非硅资料加工、高良率操控与多层对位应战时，供给了新的处理范式。

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